SK海力士加速量产第四代内存：新旧工厂齐上EUV光刻机

目前，euv光刻机的部署安装主要在台积电、三星的晶圆代工厂。不过，内存厂商们也开始着手上马了。

此前，sk海力士规划的是为年底建成的m16工厂配备，但来自德国cb的消息称，m14老厂也会引进。

euv光刻机参与的将是sk海力士的第四代（1a nm）内存，在内存业内，目前的代际划分是1x、1y、1z和1a。

euv光刻机的参与可以减少多重曝光工艺，提供工艺精度，从而可以减少生产时间、降低成本，并提高性能。

当然，euv光刻机实在是香饽饽。唯一的制造商asml（荷兰阿斯麦）产能极有限，尽管一台要10亿元左右，可仍旧供不应求。这一回新老工厂其上位，不知道sk海力士从asml那里敲定了多少台。

另外，本次报道称，三星2021年将投产euv工艺生产的内存，也就是早些时候发布的16gb容量lpddr5。

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责任编辑：万南