EUV太烧钱 台积电今年砸150亿美元开发3nm工艺：2022下半年量产

台积电日前公布了2020年q4季度财报，营收为3615.3亿元新台币，同比增长14.0%。净利润为1427.7亿元新台币，同比增长23.0%。

营收大涨的同时，台积电2021年的资本支出也创纪录了，将从去年的170亿美元大幅提升到250-280亿美元，增幅远超纪录。

这么大手笔投入主要是因为下一代工艺——3nm工艺太烧钱了，这些开支中的150亿美元都是用于3nm工艺的，包括研发及建厂。

3nm节点的技术难度增大，对euv光刻机及其他半导体设备的要求也高了，这些都是需要砸钱，1台euv光刻机就要1亿欧元以上了，3nm工艺全线都要用上euv光刻工艺，而且层数从5nm工艺的14层提升到20层，每增加一层都是巨大的成本。

根据台积电之前的说法，3nm工艺相比5nm工艺可提升70%的晶体管密度，性能提升10-15%，功耗降低25-30%。

对于量产时间，台积电表示会在2022年下半年量产，但最近有传闻称三星及台积电的3nm工艺都遇到问题了，要延期，通常台积电会在q3季度量产新工艺，因为要配合苹果的秋季发布会。

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责任编辑：宪瑞