三星斥资34亿美元采购20台EUV光刻机 内存也要上新工艺

荷兰asml公司前不久发布的财报显示2019年该公司出货了26台euv光刻机，创造了历史记录。asml没有公布具体的客户名单，但是主要买家就是台积电与三星。现在韩国媒体爆料称，三星日前又下了一笔大订单，斥资33.8亿美元采购20台euv光刻机，不仅会用于7/5nm等逻辑工艺，还会用在dram内存芯片生产上。

据报道，三星在1月15日与asml公司签订了新一轮订单，将采购20台euv光刻机，总计花了33.8亿美元，约合234亿元人民币。

这次的euv光刻机采购规模比去年10月份的15台、181亿元的规模更大，显示出三星在euv工艺上的雄心，毕竟三星从7nm开始就会直接上马euv工艺，目前已经量产，高通、nvidia、ibm等公司都会是三星7nm euv工艺的客户。

在7nm之后，三星还会推出6nm lpp、5nm lpe、4nm lpe等工艺，依然少不了euv光刻机的参与，其中6nm工艺号称今年1月份已经量产出货，不过三星没有提供详细的客户信息。

这次采购的20台euv光刻机不仅会用于逻辑工艺，还会用在dram内存芯片上，这有可能带来内存芯片生产的一场变革。

在进入10nm级别之后，dram内存也衍生出了1x、1y、1z至少三代工艺，大概等效于16-19nm、14-16nm、12-14nm，美光还会有更细化的1α、1β等工艺，但是在越过10nm这个坎上，内存工艺上euv光刻机也是迟早的事。

从报道来看，三星最快在今年底就会在内存芯片生产上使用euv光刻机，虽然不知道具体详情，但是年底的时候三大内存芯片厂商应该会开始量产新一代的ddr5内存，所以有可能在ddr5内存上首尝euv的螃蟹味道。