Intel CEO基辛格:全面拥抱EUV光刻、会有重大工艺升级
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2022-04-16 20:31:54
在10nm节点intel的进度比预期晚了多年,很大一个原因跟euv光刻机有关,intel之前一直认为euv技术不成熟,所以他们在10nm节点使用了四重曝光工艺,量产难度大,导致10nm工艺延期。现在i...
在10nm节点intel的进度比预期晚了多年,很大一个原因跟euv光刻机有关,intel之前一直认为euv技术不成熟,所以他们在10nm节点使用了四重曝光工艺,量产难度大,导致10nm工艺延期。
现在intel的态度变了,对euv光刻工艺开始重视起来了,毕竟三星、台积电的euv工艺都量产几年了,intel也将在7nm节点全面使用euv光刻工艺,只不过该工艺也跳票了,预计2023年才能量产。
在日前参加摩根大通的会议时,ceo基辛格表示,intel将全面拥抱euv光刻工艺,大家能够看到intel对euv工艺进行多代重大改进,大家能看到晶体管级别的重大改进。
从intel的表态来看,他们对euv工艺很有信心,不同厂商手中euv工艺的发挥情况也不同,intel这番表态暗示他们会对euv工艺做出重大改进,甚至能深入到晶体管级别的升级改良。
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